El hexafluoruro de azufre es un compuesto inorgánico con la fórmula SF6. Es un gas incoloro, inodoro, no tóxico y no inflamable (en condiciones estándar). SF6 tiene una geometría octaédrica, que consiste en seis átomos de flúor unidos a un átomo central de azufre. Es una molécula hipervalente. Típico de un gas no polar, es poco soluble en agua pero soluble en solventes orgánicos no polares. Generalmente se transporta como un gas comprimido licuado. Tiene una densidad de 6.13 g/L en condiciones de nivel del mar, que es considerablemente mayor que la densidad del aire.
F6 se usa en la industria eléctrica como un medio dieléctrico gaseoso para disyuntores de alto voltaje (35 kV y superiores), aparejo y otros equipos eléctricos, a menudo reemplazando los interruptores de circuito llenos de aceite (OCB) que pueden contener PCB nocivos. El gas SF6 bajo presión se usa como aislante en la tabla de interruptores aislados de gas (SIG) porque tiene una resistencia dieléctrica mucho mayor que el aire o el nitrógeno seco. Esta propiedad permite reducir significativamente el tamaño del engranaje eléctrico. Esto hace que los SIG sean más adecuados para ciertos fines, como la colocación en interiores, a diferencia del equipo eléctrico aislado de aire, que ocupa mucho más espacio. El equipo eléctrico aislado de gas también es más resistente a los efectos de la contaminación y el clima, además de ser más confiable en la operación a largo plazo debido a su entorno operativo controlado. Los interruptores de circuito de vacío (VCB) están desplazando los interruptores SF6 en la industria, ya que son más seguros y requieren menos mantenimiento. Aunque la mayoría de los productos de descomposición tienden a volver a formar rápidamente SF6, el arco o la corona pueden producir decafluoruro disulfur (S2F10), un gas altamente tóxico, con toxicidad similar al fosgeno. S2F10 se consideró un potencial agente de guerra química en la Segunda Guerra Mundial porque no produce lacrimación o irritación de la piel, lo que proporciona poca advertencia de exposición.
SF6 también se encuentra comúnmente como un dieléctrico de alto voltaje en los suministros de alto voltaje de aceleradores de partículas, como los generadores de van de Graaff y los granculadores y los microscopios electrónicos de transmisión de alto voltaje.
El plasma SF6 también se usa en la industria de semiconductores como un grabado.
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