Bis (t - butilamino) silano

El silano BIS (T-butylamino) es un líquido incoloro que reacciona rápidamente con humedad, agua, solventes protícicos.

Es el precursor de la química de líquido de vapor químico, que puede depositar películas homogéneas de nitruro de silicio y puede usarse para preparar películas de nitruro de silicio, dispositivos semiconductores y películas de aislamiento de canales poco profundos.