CAS 15112-89-7 Tris (Dimethylamino) Silane (3dmas)

Los estudios relacionados muestran que el tri (dimetilamina) silano, como fuente precursora, no solo tiene buena estabilidad, alta presión de vapor, sino que también muestra una reactividad bastante alta, por lo que esta fuente de organoasilicón se ha convertido en el foco de investigación sobre la deposición de SIO2 por método ALD.

Utilizado para la clase de fondos aminos, reactivo de silano, organosilicón, productos químicos electrónicos, materias primas químicas.